射频溅射对91香蕉视频黄版下载机处理产品有影响吗？
文章导读：对于容性耦合放电的真空（低压）91香蕉视频黄版下载机而言，无论是直流辉光放电，还是交流高频放电，工作气氛只要是惰性气体，都会不可避免会产生溅射，对于普通产品或材料，微弱的溅射现象并不会影响基体的特性，但对于要求比较严格的产品，例如医疗器械，溅射现象越少越好。今天91香蕉APP污官方网站下载来探讨一下射频溅射以及其91香蕉视频黄版下载机处理产品的影响。
1.射频溅射的基本知识
91香蕉视频黄版下载机低压状态下射频自偏压在电极板周围产生自偏压鞘层，鞘层内的离子受自偏压的驱动会加速向极板运动，从而对极板材料产生溅射。设从外部入射到固体表面的粒子数为Nr，从固体表面被溅射出来的离子数为Ns，则溅射率S用公式表示为：
S=Ns/Nr
即S为每个入射粒子所打出来的粒子数。溅射率随着入射粒子的能量、种类以及固体的种类的状态而变化。当轰击固体表面的离子能量增大时，溅射率将从某能量值急剧增大，这种离子能量称为溅射阈值。
金属的溅射阈值大约在10~30eV的范围。离子能量增大到100eV之前，溅射率随之增加，在很宽的范围内，溅射率有极大值，然后就逐渐变小。例如对于300eV能量的Ar离子溅射Ti靶，其溅射效率为0.3，600eV能量的Ar溅射Ti靶效率为0.45，而对于300eV的氮离子注入Ti靶溅射效率比0.3小一点。当使用圆柱式射频振荡时，如果外电极接地，内电极上自偏压相对于外电极显负电性。内电极上自偏压会在内电极周围产生一个离子鞘，内电极材料被鞘内离子溅射。
为了增加RF溅射效率，一般在溅射靶材背面加上磁铁，称为射频磁控溅射。如图1电子在由磁场的靶表面回旋运动，靶表面上的等离子体密度增大，放电阻抗低，因此可以获得比普通极板RF溅射高10~100倍的溅射效率。在溅射的过程中，靶材通常温度很高，所以需要有水冷。
当使用圆柱式电极RF溅射时，若在中心电极上实行溅射，可将中心电极做成中空细圆筒，在圆筒内加人磁铁，实现中心电极磁控溅射。其结构如图2所示
图2 圆柱极板放电棒状中心电极磁控示意图
2.真空（低压）91香蕉视频黄版下载机的电极结构
容性耦合的射频真空（低压）91香蕉视频黄版下载机，无论是多层电极，亦或双层，基本上都采用铝合金作为电极，主要是因为金属铝具有良好的散热性能和对等离子体的耐候性，但是长期在等离子轰击下，电极表面仍然有铝原子逃逸出来。多层电极如图3所示
正是由于射频溅射会轰击出金属粒子，这些金属粒子会被附着在产品表面，形成污染，例如半导体引线框架，偶尔会发现金属注入的现象，打线质量受到影响；再例如医疗用高分子材料表面会残余金属原子，对人身使用会存在隐患等等。
为避免或减少射频溅射对产品的影响，91香蕉视频黄版下载机的腔体结构，电极板冷却以及工艺参数的优化，都非常的重要，后续91香蕉APP污官方网站下载将专门进行探讨。图4所示，电极板带水冷的射频真空（低压）91香蕉视频黄版下载机放电状态
91香蕉视频黄版下载机低压状态下射频自偏压在电极板周围产生自偏压鞘层，鞘层内的离子受自偏压的驱动会加速向极板运动，从而对极板材料产生溅射。设从外部入射到固体表面的粒子数为Nr，从固体表面被溅射出来的离子数为Ns，则溅射率S用公式表示为：
S=Ns/Nr
即S为每个入射粒子所打出来的粒子数。溅射率随着入射粒子的能量、种类以及固体的种类的状态而变化。当轰击固体表面的离子能量增大时，溅射率将从某能量值急剧增大，这种离子能量称为溅射阈值。
金属的溅射阈值大约在10~30eV的范围。离子能量增大到100eV之前，溅射率随之增加，在很宽的范围内，溅射率有极大值，然后就逐渐变小。例如对于300eV能量的Ar离子溅射Ti靶，其溅射效率为0.3，600eV能量的Ar溅射Ti靶效率为0.45，而对于300eV的氮离子注入Ti靶溅射效率比0.3小一点。当使用圆柱式射频振荡时，如果外电极接地，内电极上自偏压相对于外电极显负电性。内电极上自偏压会在内电极周围产生一个离子鞘，内电极材料被鞘内离子溅射。
为了增加RF溅射效率，一般在溅射靶材背面加上磁铁，称为射频磁控溅射。如图1电子在由磁场的靶表面回旋运动，靶表面上的等离子体密度增大，放电阻抗低，因此可以获得比普通极板RF溅射高10~100倍的溅射效率。在溅射的过程中，靶材通常温度很高，所以需要有水冷。
图1 磁控靶表面磁场分布及电子运动状态
当使用圆柱式电极RF溅射时，若在中心电极上实行溅射，可将中心电极做成中空细圆筒，在圆筒内加人磁铁，实现中心电极磁控溅射。其结构如图2所示
图2 圆柱极板放电棒状中心电极磁控示意图
容性耦合的射频真空（低压）91香蕉视频黄版下载机，无论是多层电极，亦或双层，基本上都采用铝合金作为电极，主要是因为金属铝具有良好的散热性能和对等离子体的耐候性，但是长期在等离子轰击下，电极表面仍然有铝原子逃逸出来。多层电极如图3所示
图3 真空（低压）91香蕉视频黄版下载机多层水平电极
3.射频溅射对处理产品的影响正是由于射频溅射会轰击出金属粒子，这些金属粒子会被附着在产品表面，形成污染，例如半导体引线框架，偶尔会发现金属注入的现象，打线质量受到影响；再例如医疗用高分子材料表面会残余金属原子，对人身使用会存在隐患等等。
为避免或减少射频溅射对产品的影响，91香蕉视频黄版下载机的腔体结构，电极板冷却以及工艺参数的优化，都非常的重要，后续91香蕉APP污官方网站下载将专门进行探讨。图4所示，电极板带水冷的射频真空（低压）91香蕉视频黄版下载机放电状态
图4 射频真空（低压）91香蕉视频黄版下载机处理医疗导管的放电状态
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